廈門超聲波清洗技術(shù)的新進(jìn)展
2017-11-30 來自: 廈門和偉達(dá)超聲波設(shè)備有限公司 瀏覽次數(shù):1907
廈門和偉達(dá)超聲波設(shè)備有限公司******自動(dòng)化清洗設(shè)備,如超聲波清洗機(jī)等,是您可以信賴的超聲波清洗機(jī)廠家
超聲波清洗器的清洗技術(shù)經(jīng)過幾十年來的理論探討和應(yīng)用研究,無論設(shè)備還是工藝上均取得了較大的發(fā)展,有關(guān)單位相繼研發(fā)了一大批信的產(chǎn)品,也制定出了一系列***典型的清洗工藝。1.高頻超聲清洗對(duì)于象硅片表面小至零點(diǎn)幾微米的超微污物粒子,常規(guī)的超聲波清洗器無能為力,即使增加功率密度也無濟(jì)于事。近年來發(fā)展了一種兆赫茲級(jí)的高頻超聲清洗技術(shù),由于頻率高,空化效應(yīng)已不起作用,因此清洗的關(guān)鍵不是氣泡,主要用于超大規(guī)模集成電路芯片上的污物清洗,以及硅晶片、陶瓷、光掩模等特種污物的清洗。2.聚焦式清洗對(duì)于象紡織行業(yè)的噴絲板、過濾器之類微孔物件的清洗,常規(guī)的超聲清洗效果十分不理想,聲強(qiáng)達(dá)不到要求,而采用機(jī)械掃描聚焦式超聲清洗,噴絲板微孔中的污物脫離十分明顯。聚焦式清洗要求達(dá)到高的聲強(qiáng),目前選用的頻率以低頻為主,常用20kHz和15kHz兩種頻率,個(gè)別的頻率也有28kHz的,其電功率在連續(xù)波情況下一般為500~700W,間隙脈沖工作狀態(tài)下,功率可高一些。3.多頻清洗即在一只清洗缸中,安裝有兩種或三種以上不同頻率的換能器,由多只發(fā)生器分別推動(dòng)各自頻率的換能器。我們知道,清洗工作頻率高時(shí),在液體中空化強(qiáng)度低而空化密度大,而工作頻率低時(shí)則相反。低頻超聲波的強(qiáng)度高,對(duì)物體表面清洗有利;高頻超聲波空化密度高,沖擊波能穿達(dá)凹槽、細(xì)縫、深孔等細(xì)微結(jié)構(gòu)。同時(shí)缸中有多種頻率的超聲波,也克服了單頻清洗駐波場(chǎng)造成的清洗不均勻問題。4.掃頻和跳頻的清洗掃頻和跳頻清洗都是為了改善缸中的聲場(chǎng)結(jié)構(gòu),前者解決了缸中的不均勻駐波場(chǎng),使清洗均勻。而跳頻和多頻一樣兼顧到高低頻清洗,不同的是跳頻用的是一只換能器和一只發(fā)生器,其換能器本身有兩個(gè)諧振頻率,在***諧振點(diǎn)帶寬內(nèi)作連續(xù)的頻率變化,然后跳到另一帶寬內(nèi)進(jìn)行掃頻清洗。它是高低頻交替進(jìn)行清洗。5.超聲清洗工藝研究為了提高物件的清洗質(zhì)量,應(yīng)根據(jù)被清洗物的性質(zhì)和污物的類型,選擇合適的清洗工藝及對(duì)環(huán)境***的非ODS的清洗劑,以及相應(yīng)的配套設(shè)備。近來國(guó)內(nèi)外在這方面做了大量研究工作,也投入了大量資金、人力和物力,并取得了相應(yīng)的成果。超聲波清洗器工藝的選擇是指對(duì)超聲波清洗方式、清洗液溫度、超聲頻率、超聲功率密度、清洗時(shí)間以及清洗液的選擇及配制。合適的清洗液對(duì)于超聲波清洗效果和環(huán)境保護(hù)具有很大影響。由于超聲波清洗機(jī)理主要是利用空化作用,清洗液的選擇出了要考慮清洗件本身材料、油污、機(jī)械雜質(zhì)外,還***保證清洗液粘度小、表面張力小,以利于清洗液的空化;有時(shí)還需添加助溶劑、穩(wěn)定劑、消泡劑及靜電去除劑等添加劑。近來對(duì)環(huán)保的要求越來越嚴(yán),根據(jù)蒙特利爾協(xié)議書,******禁止使用各種ODS清洗劑,因此目前各種ODS清洗劑替代無相繼在研發(fā)和試驗(yàn)中,為此超聲波水基清洗、超聲波半水基清洗和超聲波碳?xì)浠衔锶軇┣逑匆约跋鄳?yīng)的工藝、相關(guān)的設(shè)備研發(fā)也在同步進(jìn)行。目前要******替代ODS清洗劑還有一個(gè)相當(dāng)?shù)倪^程,但相信在超聲界合化學(xué)溶劑界的不斷努力下,一個(gè)既具有清洗性又具有環(huán)保性合經(jīng)濟(jì)性的非ODS超聲清洗技術(shù)將會(huì)獲得廣泛的應(yīng)用。