半導(dǎo)體行業(yè)清洗設(shè)備
刻蝕機(jī)-半導(dǎo)體刻蝕機(jī)全自動(dòng)晶圓刻蝕機(jī)福建廈門(mén)濕法刻蝕耐強(qiáng)酸堿
| 公司名稱(chēng): | 廈門(mén)和偉達(dá)超聲波設(shè)備有限公司 |
|---|---|
| 地????址: | 廈門(mén)火炬高新區(qū)(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū)翔虹路33號(hào) |
| 手????機(jī): | 邱經(jīng)理 18060963375 |
| 電????話: | 5656688 5656655 |
| 公司網(wǎng)址: | www.wenzi384.cn |
| QQ: | 3976837902 |
| 價(jià)格: | 價(jià)格面議 |
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產(chǎn)品介紹
刻蝕槽去膠設(shè)備:
可清洗晶片規(guī)格:6吋片。
晶片材質(zhì):PI 等
液位監(jiān)測(cè): 多點(diǎn)監(jiān)測(cè)。
設(shè)備具有報(bào)警、過(guò)載保護(hù)及漏電斷路保護(hù)功能。
設(shè)備配置:
1、刻蝕槽,帶鼓泡 3個(gè)
3、常溫 DI QDR 槽 2個(gè)
1、刻蝕槽設(shè)備框架及外包板
●SUS304框架;
●進(jìn)口鹽白PP外包板;
●臺(tái)面板網(wǎng)孔板設(shè)計(jì),可單獨(dú)拆裝;
●其它材料:前門(mén)板為透明PVC,前門(mén)采用左右拉門(mén);
●水平調(diào)整:通過(guò)地腳調(diào)整設(shè)備水平;
●設(shè)備移動(dòng):設(shè)備裝有腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用,機(jī)器內(nèi)部上方有防酸日光燈;
●主體設(shè)備外形尺寸:約 2440×1460×2200mm (可定制)
●設(shè)備操作面高度:約1000mm。
2、 POS1、POS3、POS5、酸洗槽
●槽體材質(zhì):進(jìn)口PVDF,單槽結(jié)構(gòu),防漏槽材質(zhì):PP;
●上下慢提拉機(jī)構(gòu):
●排氣:共用排氣管路,材料為PP,設(shè)防腐排氣風(fēng)機(jī),配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門(mén),尺寸為200A,接口在設(shè)備的上部;
●排液:分兩路,一般排放手動(dòng);單獨(dú)排放,自動(dòng),氣動(dòng)閥
刻蝕槽設(shè)備電氣控制說(shuō)明
6.1 設(shè)備控制
●電氣主控制采用臺(tái)達(dá) PLC;
●觸摸屏采用威綸10吋觸摸屏,各個(gè)動(dòng)作有單獨(dú)觸摸屏操作界面。
6.2 數(shù)據(jù)輸入輸出以及范圍
●當(dāng)輸入一個(gè)數(shù)據(jù)會(huì)引起矛盾時(shí),該數(shù)據(jù)應(yīng)該設(shè)定為不能寫(xiě)入觸摸屏;
●可設(shè)定的條件盡量詳盡的寫(xiě)入觸摸屏,如清洗時(shí)間、藥液更換周期、清洗模式等。
6.3 報(bào)警及提醒
●蜂鳴器報(bào)警表示由于一些非常規(guī)情況發(fā)生要求停止操作;
●非常規(guī)情況發(fā)生后其內(nèi)容及需要檢查的科目顯示在觸摸屏上;
●具備ERROR及ALARM信息清除功能;
6.4 清洗條件及清洗時(shí)間
●清洗時(shí)間:0~9999sec可設(shè)定
、設(shè)備的安全使用信息
★確定整臺(tái)設(shè)備處于安全狀態(tài)且各周邊配件都接好并能產(chǎn)生功效時(shí),確信所有人員均處于安全位置才可開(kāi)始運(yùn)行設(shè)備。
★設(shè)備運(yùn)行時(shí)切勿打開(kāi)蓋子或觸摸正在運(yùn)轉(zhuǎn)中的機(jī)器部件,不得將手或工具伸入設(shè)備內(nèi)部。
★不得拆下或忽視設(shè)備安全保護(hù)裝置,并應(yīng)該每天對(duì)這些安全設(shè)施(如“緊急停止”按鈕、 門(mén)板光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)等)進(jìn)行檢查。
★操作機(jī)器時(shí),切不可靠近轉(zhuǎn)動(dòng)部件的工作范圍,該范圍內(nèi)的人為或物體干涉,都會(huì)影響設(shè)備的生產(chǎn)流程。操作時(shí)應(yīng)穿戴具有防護(hù)功能的服飾,不得穿戴松散衣物。
★進(jìn)行設(shè)備清理、檢查和維護(hù)前需先切斷電源供給部分。否則,接觸傳感器或按鈕時(shí)可能引發(fā)意想不到的后果。
★打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)后,不得對(duì)電控柜內(nèi)部進(jìn)行操作,以防觸電。
★不得將電子或電氣元件與水或濕氣相接觸,否則會(huì)使該元件損壞,或有發(fā)生電擊的危險(xiǎn)。
★不可將酸或堿滴到設(shè)備的電氣控制部件以及某些馬達(dá)的內(nèi)部元件里去,因?yàn)樵谙♂屵^(guò)程中產(chǎn)生高溫的情況下,滴到這些部件上的酸或堿會(huì)將其零件腐蝕。
★萬(wàn)一設(shè)備出現(xiàn)故障,請(qǐng)馬上關(guān)掉設(shè)備以使危害減小。
★為使光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)準(zhǔn)確工作,需經(jīng)常保持其清潔。
★設(shè)備在關(guān)機(jī)后仍在一定的時(shí)間內(nèi)會(huì)保留余溫。為避免使設(shè)備受到損傷,應(yīng)該在加熱管關(guān)掉5分鐘后才開(kāi)始排放液體。
★隨時(shí)檢查所有線路、管道及螺栓連接處的明顯損傷,發(fā)生明顯的變化時(shí)需將情況立即報(bào)告給管理者。
★進(jìn)行維修時(shí),不可忽視設(shè)備各部分的安全互鎖,并放好警示標(biāo)志。
★長(zhǎng)時(shí)間于工作環(huán)境呼吸以及廢物的蒸汽(例如抗蝕劑蒸汽和溶劑)都會(huì)危害人體健康,應(yīng)經(jīng)常對(duì)排氣裝置進(jìn)行檢查。
★遵守設(shè)備所允許的操作溫度(如:聚丙烯(PP) : 90℃)
★所有過(guò)濾桶都需要在設(shè)備關(guān)掉后方可打開(kāi)。
★設(shè)備中塑料元件摩擦溫度(PP, PE, PVDF)可達(dá)40℃,防止?fàn)C傷。
★設(shè)備后面及下面的管道一直都在使用中,只有在經(jīng)過(guò)足夠長(zhǎng)時(shí)間的冷卻后方可接觸。
2-1“緊急停止”操作介紹
“緊急停止”按鈕位置示意:操作該設(shè)備的人員請(qǐng)先仔細(xì)閱讀該頁(yè),并熟悉“緊急停止”按鈕在設(shè)備上的位置。


該設(shè)備上共有若干個(gè)緊急停止按鈕。分別在觸摸屏上,設(shè)備的中部以及上、下料段等處。如果設(shè)備出現(xiàn)故障或報(bào)警蜂鳴器響起,要立即按下“緊急停止”項(xiàng)
緊急停止以及再開(kāi)機(jī)使用步驟如下:
1-1蜂鳴器響起,電控柜上的“警報(bào)”按鈕燈亮,按下“緊急停止”按鈕。此時(shí)設(shè)備將停止運(yùn)轉(zhuǎn),但程序并不會(huì)退出。
1-2即時(shí)找出故障并將其排除。
1-3旋轉(zhuǎn)“緊急停止”按鈕使其復(fù)位。
1-4按下“電源”開(kāi)關(guān)開(kāi)動(dòng)設(shè)備。
2-2設(shè)備的安全安裝
按提供的設(shè)備總圖把設(shè)備安裝在指定位置。需提供適當(dāng)?shù)耐L(fēng)及操作空間。設(shè)備的安裝現(xiàn)場(chǎng)要求通風(fēng),對(duì)設(shè)備保持足夠的正壓,使用前要先打開(kāi)設(shè)備排廢氣系統(tǒng),生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)需通風(fēng)。在設(shè)備周?chē)?span style="font-family: 黑體; font-size: 14px; text-indent: 27px;">需有足夠的空間,便于出入、清潔和維修??刂乒竦臄[放位置要合理,需滿足操作設(shè)備時(shí)能看到控制柜的控制裝置同時(shí)也能在控制裝置處看到設(shè)備各項(xiàng)工作情況,這對(duì)保證生產(chǎn)線上的工作人員的安全極其重要。注意將電控柜與設(shè)備危險(xiǎn)區(qū)保持足夠距離(不妨礙操作設(shè)備和電源控制)、在未經(jīng)本公司同意時(shí),不得更改控制程序的任何部分。若因生產(chǎn)需要,進(jìn)行任何機(jī)械或電控系統(tǒng)更改時(shí)需經(jīng)過(guò)本公司授權(quán)。
主要清洗對(duì)象:

設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖
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