單槽、多槽超聲波清洗機(jī)
半導(dǎo)體刻蝕機(jī)
| 公司名稱(chēng): | 廈門(mén)和偉達(dá)超聲波設(shè)備有限公司 |
|---|---|
| 地????址: | 廈門(mén)火炬高新區(qū)(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū)翔虹路33號(hào) |
| 手????機(jī): | 邱經(jīng)理 18060963375 |
| 電????話(huà): | 5656688 5656655 |
| 公司網(wǎng)址: | www.wenzi384.cn |
| QQ: | 3976837902 |
| 價(jià)格: | 價(jià)格面議 |
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摘要
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半導(dǎo)體刻蝕機(jī)機(jī)全自動(dòng)晶圓刻蝕機(jī)福建廈門(mén)濕法刻蝕耐強(qiáng)酸堿刻蝕機(jī)
產(chǎn)品介紹
工藝零件參數(shù)
●清洗對(duì)象:6〞及以上晶片表面上刻蝕出指定電路或做邊沿刻蝕;
●清洗量:非標(biāo)可定制
設(shè)備結(jié)構(gòu)參數(shù)(部分設(shè)備參考)
設(shè)備框架及外包板
●SUS304框架;
●進(jìn)口鹽白PP外包板;
●臺(tái)面板網(wǎng)孔板設(shè)計(jì),可單獨(dú)拆裝;
●其它材料:前門(mén)板為透明PVC,前門(mén)采用左右拉門(mén);
●水平調(diào)整:通過(guò)地腳調(diào)整設(shè)備水平;
●設(shè)備移動(dòng):設(shè)備裝有腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用,機(jī)器內(nèi)部上方有防酸日光燈;
●主體設(shè)備外形尺寸:非標(biāo)可定制
POS1、POS3、POS5、酸洗槽
●槽體材質(zhì):進(jìn)口PVDF,單槽結(jié)構(gòu),防漏槽材質(zhì):PP;
●內(nèi)槽型式:STATIC;
●清洗藥液:混酸;
●藥液供給:手動(dòng)供給;
●槽體蓋子:有,PP槽蓋;
●上下慢提拉機(jī)構(gòu):a.伺服慢提拉機(jī)構(gòu),
b.搖擺距離(可設(shè)定)
c.防腐承載掛鉤,
d.搖擺次數(shù) 次/min;(可設(shè)定)
●排氣:共用排氣管路,材料為PP,設(shè)防腐排氣風(fēng)機(jī),配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門(mén),接口在設(shè)備的上部;
●排液:分兩路,一般排放(洗槽廢水)手動(dòng);單獨(dú)排放,自動(dòng),氣動(dòng)閥(廢液)
POS2、POS4、(QDR槽)
●槽體材質(zhì):PP, 內(nèi)外槽結(jié)構(gòu),V型四邊溢流,防漏槽材質(zhì):PP;
●清洗時(shí)間設(shè)定:0~9999sec;
●鼓泡:鼓泡管PP材質(zhì),電磁閥控制,手動(dòng)閥調(diào)節(jié)N2流量。
●噴淋:噴淋管PP材質(zhì),PVDF
●溫度:RT;
●排氣:共用排氣管路,設(shè)防腐排氣風(fēng)機(jī),材料為PP,配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門(mén)
●進(jìn)水閥及噴水閥均采用氣動(dòng)閥及手動(dòng)流量控制閥;
●排液:自動(dòng)排液,氣動(dòng)閥,一般排水管線(xiàn)。
●程序設(shè)定循環(huán)沖洗次數(shù)及噴淋時(shí)間(可調(diào))
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