單槽、多槽超聲波清洗機(jī)
半導(dǎo)體刻蝕機(jī)
| 公司名稱(chēng)： | 廈門(mén)和偉達(dá)超聲波設(shè)備有限公司 |
|---|---|
| 地????址： | 廈門(mén)火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)翔虹路33號(hào) |
| 手????機(jī)： | 邱經(jīng)理 18060963375 |
| 電????話(huà)： | 5656688 5656655 |
| 公司網(wǎng)址： | www.wenzi384.cn |
| QQ： | 3976837902 |
| 價(jià)格： | 價(jià)格面議 |
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摘要
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半導(dǎo)體刻蝕機(jī)機(jī)全自動(dòng)晶圓刻蝕機(jī)福建廈門(mén)濕法刻蝕耐強(qiáng)酸堿刻蝕機(jī)
產(chǎn)品介紹
工藝零件參數(shù)
●清洗對(duì)象：6〞及以上晶片表面上刻蝕出指定電路或做邊沿刻蝕；
●清洗量：非標(biāo)可定制
設(shè)備結(jié)構(gòu)參數(shù)（部分設(shè)備參考）
設(shè)備框架及外包板
●SUS304框架；
●進(jìn)口鹽白PP外包板；
●臺(tái)面板網(wǎng)孔板設(shè)計(jì)，可單獨(dú)拆裝；
●其它材料：前門(mén)板為透明PVC，前門(mén)采用左右拉門(mén)；
●水平調(diào)整：通過(guò)地腳調(diào)整設(shè)備水平；
●設(shè)備移動(dòng)：設(shè)備裝有腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用，機(jī)器內(nèi)部上方有防酸日光燈；
●主體設(shè)備外形尺寸：非標(biāo)可定制
POS1、POS3、POS5、酸洗槽
●槽體材質(zhì)：進(jìn)口PVDF，單槽結(jié)構(gòu)，防漏槽材質(zhì)：PP；
●內(nèi)槽型式：STATIC；
●清洗藥液：混酸；
●藥液供給：手動(dòng)供給；
●槽體蓋子：有，PP槽蓋；
●上下慢提拉機(jī)構(gòu)：a.伺服慢提拉機(jī)構(gòu)，
b.搖擺距離（可設(shè)定）
c.防腐承載掛鉤，
d.搖擺次數(shù) 次/min；（可設(shè)定）
●排氣：共用排氣管路，材料為PP，設(shè)防腐排氣風(fēng)機(jī)，配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門(mén)，接口在設(shè)備的上部；
●排液：分兩路，一般排放（洗槽廢水）手動(dòng)；單獨(dú)排放，自動(dòng)，氣動(dòng)閥（廢液）
POS2、POS4、（QDR槽）
●槽體材質(zhì)：PP, 內(nèi)外槽結(jié)構(gòu)，V型四邊溢流，防漏槽材質(zhì)：PP；
●清洗時(shí)間設(shè)定：0~9999sec；
●鼓泡：鼓泡管PP材質(zhì)，電磁閥控制，手動(dòng)閥調(diào)節(jié)N2流量。
●噴淋：噴淋管PP材質(zhì)，PVDF
●溫度：RT；
●排氣：共用排氣管路，設(shè)防腐排氣風(fēng)機(jī)，材料為PP，配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門(mén)
●進(jìn)水閥及噴水閥均采用氣動(dòng)閥及手動(dòng)流量控制閥；
●排液：自動(dòng)排液，氣動(dòng)閥，一般排水管線(xiàn)。
●程序設(shè)定循環(huán)沖洗次數(shù)及噴淋時(shí)間（可調(diào)）
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