刻蝕槽去膠設(shè)備：

可清洗晶片規(guī)格：6吋片。

晶片材質(zhì)：PI 等

液位監(jiān)測: 多點(diǎn)監(jiān)測。

設(shè)備具有報(bào)警、過載保護(hù)及漏電斷路保護(hù)功能。

設(shè)備配置：

1、刻蝕槽，帶鼓泡 3個(gè)

3、常溫 DI QDR 槽 2個(gè)

1、刻蝕槽設(shè)備框架及外包板

●SUS304框架；

●進(jìn)口鹽白PP外包板；

●臺面板網(wǎng)孔板設(shè)計(jì)，可單獨(dú)拆裝；

●其它材料：前門板為透明PVC，前門采用左右拉門；

●水平調(diào)整：通過地腳調(diào)整設(shè)備水平；

●設(shè)備移動(dòng)：設(shè)備裝有腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用，機(jī)器內(nèi)部上方有防酸日光燈；

●主體設(shè)備外形尺寸：約 2440×1460×2200mm （可定制）

●設(shè)備操作面高度：約1000mm。

2、 POS1、POS3、POS5、酸洗槽

●槽體材質(zhì)：進(jìn)口PVDF，單槽結(jié)構(gòu)，防漏槽材質(zhì)：PP；

●上下慢提拉機(jī)構(gòu)：

●排氣：共用排氣管路，材料為PP，設(shè)防腐排氣風(fēng)機(jī)，配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門，尺寸為200A，接口在設(shè)備的上部；

●排液：分兩路，一般排放手動(dòng)；單獨(dú)排放，自動(dòng)，氣動(dòng)閥

刻蝕槽設(shè)備電氣控制說明

6.1 設(shè)備控制

●電氣主控制采用臺達(dá) PLC；

●觸摸屏采用威綸10吋觸摸屏，各個(gè)動(dòng)作有單獨(dú)觸摸屏操作界面。

6.2 數(shù)據(jù)輸入輸出以及范圍

●當(dāng)輸入一個(gè)數(shù)據(jù)會(huì)引起矛盾時(shí)，該數(shù)據(jù)應(yīng)該設(shè)定為不能寫入觸摸屏；

●可設(shè)定的條件盡量詳盡的寫入觸摸屏，如清洗時(shí)間、藥液更換周期、清洗模式等。

6.3 報(bào)警及提醒

●蜂鳴器報(bào)警表示由于一些非常規(guī)情況發(fā)生要求停止操作；

●非常規(guī)情況發(fā)生后其內(nèi)容及需要檢查的科目顯示在觸摸屏上；

●具備ERROR及ALARM信息清除功能；

6.4 清洗條件及清洗時(shí)間

●清洗時(shí)間：0~9999sec可設(shè)定

、設(shè)備的安全使用信息

★確定整臺設(shè)備處于安全狀態(tài)且各周邊配件都接好并能產(chǎn)生功效時(shí)，確信所有人員均處于安全位置才可開始運(yùn)行設(shè)備。

★設(shè)備運(yùn)行時(shí)切勿打開蓋子或觸摸正在運(yùn)轉(zhuǎn)中的機(jī)器部件，不得將手或工具伸入設(shè)備內(nèi)部。

★不得拆下或忽視設(shè)備安全保護(hù)裝置，并應(yīng)該每天對這些安全設(shè)施（如“緊急停止”按鈕、 門板光電感應(yīng)開關(guān)等）進(jìn)行檢查。

★操作機(jī)器時(shí)，切不可靠近轉(zhuǎn)動(dòng)部件的工作范圍，該范圍內(nèi)的人為或物體干涉，都會(huì)影響設(shè)備的生產(chǎn)流程。操作時(shí)應(yīng)穿戴具有防護(hù)功能的服飾，不得穿戴松散衣物。

★進(jìn)行設(shè)備清理、檢查和維護(hù)前需先切斷電源供給部分。否則，接觸傳感器或按鈕時(shí)可能引發(fā)意想不到的后果。

★打開電源開關(guān)后，不得對電控柜內(nèi)部進(jìn)行操作，以防觸電。

★不得將電子或電氣元件與水或濕氣相接觸，否則會(huì)使該元件損壞，或有發(fā)生電擊的危險(xiǎn)。

★不可將酸或堿滴到設(shè)備的電氣控制部件以及某些馬達(dá)的內(nèi)部元件里去，因?yàn)樵谙♂屵^程中產(chǎn)生高溫的情況下，滴到這些部件上的酸或堿會(huì)將其零件腐蝕。

★萬一設(shè)備出現(xiàn)故障，請馬上關(guān)掉設(shè)備以使危害減小。

★為使光電感應(yīng)開關(guān)準(zhǔn)確工作，需經(jīng)常保持其清潔。

★設(shè)備在關(guān)機(jī)后仍在一定的時(shí)間內(nèi)會(huì)保留余溫。為避免使設(shè)備受到損傷，應(yīng)該在加熱管關(guān)掉5分鐘后才開始排放液體。

★隨時(shí)檢查所有線路、管道及螺栓連接處的明顯損傷，發(fā)生明顯的變化時(shí)需將情況立即報(bào)告給管理者。

★進(jìn)行維修時(shí)，不可忽視設(shè)備各部分的安全互鎖，并放好警示標(biāo)志。

★長時(shí)間于工作環(huán)境呼吸以及廢物的蒸汽（例如抗蝕劑蒸汽和溶劑）都會(huì)危害人體健康，應(yīng)經(jīng)常對排氣裝置進(jìn)行檢查。

★遵守設(shè)備所允許的操作溫度(如：聚丙烯(PP) : 90℃)

★所有過濾桶都需要在設(shè)備關(guān)掉后方可打開。

★設(shè)備中塑料元件摩擦溫度(PP, PE, PVDF)可達(dá)40℃,防止?fàn)C傷。

★設(shè)備后面及下面的管道一直都在使用中，只有在經(jīng)過足夠長時(shí)間的冷卻后方可接觸。    

2-1“緊急停止”操作介紹

“緊急停止”按鈕位置示意：操作該設(shè)備的人員請先仔細(xì)閱讀該頁，并熟悉“緊急停止”按鈕在設(shè)備上的位置。

該設(shè)備上共有若干個(gè)緊急停止按鈕。分別在觸摸屏上，設(shè)備的中部以及上、下料段等處。如果設(shè)備出現(xiàn)故障或報(bào)警蜂鳴器響起，要立即按下“緊急停止”項(xiàng)

緊急停止以及再開機(jī)使用步驟如下：

1-1蜂鳴器響起，電控柜上的“警報(bào)”按鈕燈亮，按下“緊急停止”按鈕。此時(shí)設(shè)備將停止運(yùn)轉(zhuǎn)，但程序并不會(huì)退出。

1-2即時(shí)找出故障并將其排除。

1-3旋轉(zhuǎn)“緊急停止”按鈕使其復(fù)位。

1-4按下“電源”開關(guān)開動(dòng)設(shè)備。

2-2設(shè)備的安全安裝

按提供的設(shè)備總圖把設(shè)備安裝在指定位置。需提供適當(dāng)?shù)耐L(fēng)及操作空間。設(shè)備的安裝現(xiàn)場要求通風(fēng)，對設(shè)備保持足夠的正壓，使用前要先打開設(shè)備排廢氣系統(tǒng)，生產(chǎn)現(xiàn)場需通風(fēng)。在設(shè)備周圍需有足夠的空間，便于出入、清潔和維修?？刂乒竦臄[放位置要合理，需滿足操作設(shè)備時(shí)能看到控制柜的控制裝置同時(shí)也能在控制裝置處看到設(shè)備各項(xiàng)工作情況，這對保證生產(chǎn)線上的工作人員的安全極其重要。注意將電控柜與設(shè)備危險(xiǎn)區(qū)保持足夠距離（不妨礙操作設(shè)備和電源控制）、在未經(jīng)本公司同意時(shí)，不得更改控制程序的任何部分。若因生產(chǎn)需要，進(jìn)行任何機(jī)械或電控系統(tǒng)更改時(shí)需經(jīng)過本公司授權(quán)。

主要清洗對象：

設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖