單槽、多槽超聲波清洗機
半導(dǎo)體刻蝕機
| 公司名稱: | 廈門和偉達(dá)超聲波設(shè)備有限公司 |
|---|---|
| 地????址: | 廈門火炬高新區(qū)(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū)翔虹路33號 |
| 手????機: | 邱經(jīng)理 18060963375 |
| 電????話: | 5656688 5656655 |
| 公司網(wǎng)址: | www.wenzi384.cn |
| QQ: | 3976837902 |
| 價格: | 價格面議 |
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摘要
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半導(dǎo)體刻蝕機機全自動晶圓刻蝕機福建廈門濕法刻蝕耐強酸堿刻蝕機
產(chǎn)品介紹
工藝零件參數(shù)
●清洗對象:6〞及以上晶片表面上刻蝕出指定電路或做邊沿刻蝕;
●清洗量:非標(biāo)可定制
設(shè)備結(jié)構(gòu)參數(shù)(部分設(shè)備參考)
設(shè)備框架及外包板
●SUS304框架;
●進口鹽白PP外包板;
●臺面板網(wǎng)孔板設(shè)計,可單獨拆裝;
●其它材料:前門板為透明PVC,前門采用左右拉門;
●水平調(diào)整:通過地腳調(diào)整設(shè)備水平;
●設(shè)備移動:設(shè)備裝有腳輪以備設(shè)備移動之用,機器內(nèi)部上方有防酸日光燈;
●主體設(shè)備外形尺寸:非標(biāo)可定制
POS1、POS3、POS5、酸洗槽
●槽體材質(zhì):進口PVDF,單槽結(jié)構(gòu),防漏槽材質(zhì):PP;
●內(nèi)槽型式:STATIC;
●清洗藥液:混酸;
●藥液供給:手動供給;
●槽體蓋子:有,PP槽蓋;
●上下慢提拉機構(gòu):a.伺服慢提拉機構(gòu),
b.搖擺距離(可設(shè)定)
c.防腐承載掛鉤,
d.搖擺次數(shù) 次/min;(可設(shè)定)
●排氣:共用排氣管路,材料為PP,設(shè)防腐排氣風(fēng)機,配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門,接口在設(shè)備的上部;
●排液:分兩路,一般排放(洗槽廢水)手動;單獨排放,自動,氣動閥(廢液)
POS2、POS4、(QDR槽)
●槽體材質(zhì):PP, 內(nèi)外槽結(jié)構(gòu),V型四邊溢流,防漏槽材質(zhì):PP;
●清洗時間設(shè)定:0~9999sec;
●鼓泡:鼓泡管PP材質(zhì),電磁閥控制,手動閥調(diào)節(jié)N2流量。
●噴淋:噴淋管PP材質(zhì),PVDF
●溫度:RT;
●排氣:共用排氣管路,設(shè)防腐排氣風(fēng)機,材料為PP,配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門
●進水閥及噴水閥均采用氣動閥及手動流量控制閥;
●排液:自動排液,氣動閥,一般排水管線。
●程序設(shè)定循環(huán)沖洗次數(shù)及噴淋時間(可調(diào))
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